GST-Semi Co., Ltd.
반도체 FURNACE/DIFFUSION 개조/개선, 이설 및 중고부품 취급합니다.
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2015년 5월 7일 목요일
H2/O2 RATIO INTERLOCK(KE CX3000)
The ratio of 1.85 is a software interlock,
The ratio of 1.95 is a hardware interlock (CX1317).
There is a double interlock.
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